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工业厂房洁净度检测方法
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  • 2021-11-24
  • 来源:中科检测
  • 厂房洁净度检测洁净度检测洁净度检测方法
  伴随着人类物质生活的不断改善,洁净技术越来越多地被应用于在生产生活中,它被广泛应用于微电子、半导体和精密机械等对环境有很高要求的工业制造行业。对于洁净室的各项性能指标都有非常明确、严格的要求,不一样的设备、工艺、安装水平对总的效能都有不同的影响,对此就需要工程完工后进行严格的竣工验收和测试,来检验是否达到要求,以便满足生产环境要求。
 
  厂房洁净度检测项目主要包括:风量、静压差、洁净度、室内温度、相对湿度、噪声、室内照度和均匀度的测试。本文就以上常规检测项目进行简单介绍。
 

  1、测试前准备工作

 
  (1)测试工作在系统调整好并运行至少24小时之后进行;
 
  (2)所测试的洁净室和净化系统应再次全面清扫;
 
  (3)测试时,建设、设计、施工单位都要在场配合、协调;
 
  (4)任何一种测试得出的洁净度级别,必须注明测试状态。
 

  2、风量测试

 

  2.1测试仪器

 
  热球式风速仪。
 

  2.2风量测试准备

 
  在试验前,必须检查风机运行正不正常,系统中各部件安装正不正确,过滤器干不干净,所有阀门应固定在一定的开启位置上,并且实际测量被测风口和风管尺寸。
 

  2.3厂房洁净度检测方式与方法

 
  对于单向流洁净室,取离高效过滤器0.3m垂直于气流处的截面作为采样截面,截面上测点间距不宜大于0.6m,测点数应大于5点,测点间距不宜大于0.6m。采用室截面平均风速与截面乘积的方法确定送风量,所有读数的算术平均值。
 
  对于乱流洁净室,应直接在送风口过滤器下连一长度为2倍以上风口大边长度的直管段,在其出口平面按不少于6点布置测点。采用风管法确定送风量。
 

  按下式计算风量:

 
  Q=V×F×3600
 
  式中:Q为风量(m?/h);V为管道内的平均风速(m/s);F为测定截面的净面积(㎡)。
 

  2.4测试中注意事项

 
  (1)首先进行风量风速测试,保证被测洁净室满足设计风量风速条件;
 
  (2)测试过程中,最好采用辅助风管法,可测的高精度的测量数据;
 
  (3)一般来说,热球式风速仪宜采用定点法测定,如面风速不均匀,应增加测量点数;
 
  (4)实测计算时,风口尺寸必须是实测尺寸。
 

  2.5判定标准

 

  2.5.1单向流洁净室

 
  (1)实测室内风速应大于设计风速,在设计风速的1~1.2倍;
 
  (2)总实测新风量与设计新风量的差距,不应超过设计新风量的±10%;
 
  (3)截面风速不均匀度≤0.25。
 

  2.5.2乱流洁净室

 
  (1)系统实测风量应大于各自的设计风量,在设计风速的1~1.2倍;
 
  (2)总实测新风量和设计新风量之差,不应超过设计新风量的±10%;
 
  (3)室内各风口风量和设计风量的差距均不应超过设计风量的±15%。
 

  3、静压力

 

  3.1测试仪器

 
  微压计(仪表灵敏度应小于1.0Pa)。
 

  3.2静压差作用

 
  为保持洁净室的洁净度,使其不受邻室污染,在洁净室内保持某一个高于邻室的空气压力,是洁净室区别于一般空调房间的重要特点。静压差反映的是缝隙的阻力特性。具有两个作用:
 
  (1)在关闭门窗的情况下,防止洁净室外的污染从缝隙渗入洁净室内;
 
  (2)确保当门打开时有足够的气流向外流动,尽可能减少由人的进入的瞬时带进来的气流量。
 

  3.3静压差测试方法

 
  (1)洁净室内各门全关闭情况下进行测定;
 
  (2)从洁净室高到低的顺序逐间进行,一直测到直通室外的房间;
 
  (3)测定口在0.8m的工作高度,管口轴线与气流垂直。
 

  3.4判定标准

 
  (1)相邻不同级别洁净室之间及洁净室与非洁净室之间的静压差应不低于5Pa;
 
  (2)洁净室和室外的静压差应不低于10Pa;(3)100级及其以上洁净度的洁净室,在室内距门0.6m处测其含尘浓度不应大于其级别上限。

 
厂房洁净度检测

 

  4、室内洁净度检测

 
  为了正确评价工程的施工质量,应对洁净室洁净度级别(空态/静态)进行检测。如果测试合格,证明系统施工质量达到设计要求,具备向建设单位交工验收的条件。
 

  4.1测试仪器

 
  尘埃粒子计数器。
 

  4.2厂房洁净度检测方法及注意事项

 
  (1)尘埃粒子计数器,粒径灵敏度为0.3um,测试前必须经过标定。室内测定人员不应超过3名,测定时人员必须穿洁净工作服站在采样点的下风侧静止不动或微动。
 
  (2)测量周期设成2分钟以上,测点改变时走动要尽量轻缓。这是为了尽量减少因测试人员的走动或测试仪器的搬动引起周边空气非正常扰动的影响。
 
  (3)确定最低采样点数,按以下公式来取,原则是面积越大,测点越多。单向层流指送风面面积,乱流指房间面积。当洁净区只有一处采样点时,那么在这一点应进行至少3次。
 
  (4)每个采样点最小采样量,按下式确定:
 
  Vs=20×100/Cn.m
 
  式中:Vs为每个采样点的每次采样量,单位L;Cn.m为被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3);20为在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,粒子颗数(pc)就可以被测出来。
 
  (5)单向流洁净室采样口应宜对着气流方向,乱流洁净室采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度。
 
  (6)测点平面布置在距地0.8m高度,测点多时可向上分层布置。
 
  (7)对于单向流(层流)洁净室,测门开启状态下,离门口0.6m的室内侧工作面高度的粒子数。
 

  4.3数据整理

 
  (1)每个测点的数据整理最好在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值;
 
  (2)空气洁净度检测中,当全室测点为2~9点时,一定要计算出每个采样点的平均粒子浓度C值、所有采样点的平均粒子浓度N及其标准差,导出95%置信上限值;如果采样点超过9点时,则可采用算术平均数N作为置信上限值。
 

  4.4注意事项

 
  (1)净化处理原则:能用局部净化的场合,就尽可能不用全面净化;
 
  (2)由于洁净室气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性,建议把工艺布置在主流区内;
 
  (3)主要工艺可尽量布置于送风管上风段,上风段相对来说,洁净程度比下风段要好。
 

  5、温湿度的测试

 

  5.1测试仪器

 
  阿斯曼。
 

  5.2厂房洁净度检测方法及注意事项

 
  (1)测试前净化空调系统必须连续正常运行至少24小时;
 
  (2)测点距地0.8m;
 
  (3)测点数:非恒温系统室中心1点,恒温系统不少于5点,点间距不应大于2m。
 

  6、噪声的测试

 

  6.1测试仪器

 
  声级计和声压级校准器。
 

  6.2噪音测试条件

 
  (1)生产设备必须处于正常工作状态,并维持运行状态不变。
 
  (2)室外测试时,传声器应加防风罩,风速不得大于6m/s。
 
  (3)测试过程中,应避免或减少振动、电磁场、温度与湿度等环境因素的干扰。
 

  6.3噪声测点位置

 
  (1)测点上的传声器,应置于人耳位置高度。传声器应指向影响较大的声源,难于判断声源方位,则应将传声器竖直向上。
 
  (2)测洁净室的室内噪声,一般在室内局中位置附近选3个测点取其平均值,传声器应距地面1.2m处,传声器应指向影响较大的声源。
 
  (3)测洁净室的室外噪声,距生产车间建筑物外侧3m~5m,距非生产车间建筑物外侧1m。传声器应距地面1.2m处,传声器应指向影响较大的声源。
 
  目前,洁净技术还是处于发展阶段,还有许多东西值得我们探讨,要想有一个相对比较清晰感性认识,这都需要我们在一定理论指导下,通过实地现场测试,不断的探讨,不断的总结经验教训。
 
  以上就是关于工业厂房洁净度检测方法的介绍,希望对大家有所帮助。作为拥有严格质量管控体系,确保检测报告的科学性和权威性的第三方检测机构——中科检测,除了有开展厂房洁净度检测以外,还提供盐雾试验、光伏检测、毒理检测等检测项目,帮助合作伙伴在竞争中保持优势。
 

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