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洁净室静压差检测的意义
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2021-08-19 - 来源：中科检测
洁净室静压差检测的意义
洁净室的压差就是洁净室与周围空间所必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏。病毒实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。
为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外、或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室、或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和一般生物洁净室都是采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生产致敏性药物、高活性药物的生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以测定洁净室的气压差很重要。 洁净室压差检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内（外）气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产工艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围 5～20Pa，并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。
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