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2024-07-03
- 来源:中科检测
无尘室,也称为洁净室,是一种特殊的环境,其中空气中的尘埃、微生物等污染物被控制在一个极低的水平,以确保产品或工艺的精确性和可靠性。在许多高科技产业,如半导体、医疗设备制造、制药等,无尘室是必不可少的生产环境。
定期进行无尘室检测和设备检查,以确保其符合洁净度等级要求。检测项目包括尘埃数、微生物数、空气流速、压差等指标。同时,应根据检测结果及时采取相应的措施进行整改和维护,以保证无尘室的稳定运行和持续达标。
无尘室检测次数要求
(1)空气洁净度检测频率:
空气洁净度检测应至少每季度进行一次,以确保无尘车间的空气质量符合要求。
(2)照度检测频率:
照度检测应至少每季度进行一次,以确保无尘车间的照度水平符合要求。如发现异常情况,应及时采取措施进行调整。
(3)压差检测频率:
压差检测应至少每周进行一次,以确保无尘车间的压差符合要求。如发现异常情况,应及时采取措施进行调整。
(4)温度和湿度检测频率:
温度和湿度检测应至少每天进行一次,以确保无尘车间的环境质量符合要求。
(5)噪声检测频率:
噪声检测应至少每季度进行一次,以确保无尘车间的噪声水平符合要求。如发现异常情况,应及时采取措施进行治理。
无尘室管理规范要求
无尘室的要求与等级标准主要包括以下几个方面:
(1)空气洁净度等级:
无尘室的洁净度等级主要根据空气中悬浮粒子浓度来划分,一般分为一级到十级。一级无尘室主要适用于制作集成电路的微电子工业,十级无尘室主要用于带宽小于二微米的半导体工业,百级无尘室一般用于医药工业的无菌制作工艺等,千级无尘室主要用于高质量光学产品的生产,万级和十万级无尘室则多用于工业部门,如液压或气压体系的制作、食品饮料的出产等。
(2)照明与通风:
无尘室内应有足够数量的局部照明装置及良好的通风换气设备,同时,其风速和气流组织形式也有一定要求。
(3)温湿度要求:
无尘室的温度一般控制在20±2°C,相对湿度保持在50±5%范围内。
(4)其他要求:
如压差控制,相同洁净度等级的净化车间压差应保持一致,对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。
(5)人员进出要求:
人员进入洁净区必须穿防尘工作服或防静电工作服,带好帽子口罩等个人防护用品,严禁非工作人员入内。

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