光刻胶 检测介绍
光刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种特殊的感光材料,能够在光的照射下发生化学变化,进而影响其溶解度。光刻胶主要由感光树脂、增感剂和溶剂组成,是微电子技术中精细图形处理的关键材料,广泛应用于半导体、液晶显示、印刷电路板等领域的细微图形加工作业。在光刻工艺中,光刻胶作为抗腐蚀涂层材料,通过涂覆、曝光和显影等步骤,将掩膜板上的图形精确地转移到基片上。光刻胶分为正性和负性两种类型,正性光刻胶在曝光后被溶解,而未曝光部分保留;负性光刻胶则相反,曝光部分被保留,未曝光部分被溶解。中科检测是专业的光刻胶检测机构,可开展光刻胶检测服务。
光刻胶 检测范围
光刻胶可以分为光聚合型、光分解型、光交联型和化学放大型。
1、光聚合型光刻胶采用烯类单体,在光作用下生成自由基,引发单体聚合反应生成聚合物。
2、光分解型光刻胶,采用含有重氮醌类化合物(DQN)材料作为感光剂,其经过光照后,发生光分解反应。
3、光交联型光刻胶采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,形成不溶性的网状结构,起到抗蚀作用。
4、化学放大型光刻胶采用难以溶解的聚乙烯树脂,使用光致酸剂(PAG)作为光引发剂。
光刻胶 检测项目
理化性能:固含量、粘度、留膜率、薄膜厚度、粘附力等
可靠性能:耐化学性能、耐溶剂冲击性、溶解性、耐化学性、耐腐蚀性能等
光学性能:色度、辉度、对比度测试、显影速度、曝光度等
光刻胶 检测标准
GB/T 43793.1-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分:理化性能
GB/T 43793.2-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第2部分:光学性能
GB/T 43793.3-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第3部分:可靠性
GB/T 31370.1-2015 平板显示器(FPD)彩色滤光片测试方法 第1部分:颜色和透光率
GB/T 31370.4-2015 平板显示器(FPD)彩色滤光片测试方法 第4部分:耐化学性
IPC MI-660 5.3-1984 干电影光刻胶
GOST R 52250-2004 电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范
- 电话:400-133-6008
- 地址:广州市天河区兴科路368号(天河实验室)
广州市黄埔区科学城莲花砚路8号(黄埔实验室) - 邮箱:atc@gic.ac.cn